1、溅射靶材:
成分设计合理、表面平整光滑,具有良好的导电性,溅射时工作电流稳定,高阻靶材的底板焊接牢固适用,达到美国和日本同类靶材的水平。
2、电阻器:
具有阻值集中、稳定性好,有良好的耐热、耐磨和抗氧化性能,电阻温度系数小等特点。
靶材型号 |
成份 |
电阻率(μΩ·cm) |
适用电阻范围(Ω) |
电阻温度系数(ppm/℃) |
|
A |
B |
||||
ZYCD超低阻 |
Ni—Cr—Mn—Cu |
42~50 |
<1 |
<50 |
<100 |
ZYC低阻 |
Ni—Cr—Si |
90~120 |
1~50 |
<50 |
<100 |
ZYD低阻 |
Ni—Cr—Si |
131~135 |
2~200 |
<50 |
<100 |
ZYZ中阻 |
Ni—Cr—Si |
138~142 |
200~800 |
<50 |
<100 |